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晶圆卡爪 搬运工件尺寸：Ø300/Ø450 多片叠加夹持
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产品名称 机械手
材质 主体CFRP
种类 抓取系统
类型 特殊机械手
运作方式 多片叠加夹持
特征 晶圆卡爪
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